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大面积刻写应用
通常运动台行程在100*100mm满足大部分应用，对超出100mm区域的加工，基于飞秒激光微纳加工的大面积刻写对运动台的性能挑战非常大，我们有类似的解决方案。
三轴精密运动台特点：
- XY轴平面式气浮运动台：重复定位精度、直线度、平面度、速度稳定性、跟随误差等，适用于大面积刻写工艺。
- Z轴为交叉滚柱导轨，侧挂结构，行程50~300mm（根据用户的需求选择）。
- Z轴重复定位精度、微动步距、定位抖动。
- 控制上支持位置
同步
输出，控制激光器通断。
产品结构及精度指标：
